高速扫描电子显微镜

简要描述：高速扫描电子显微镜采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术，实现了超快的数据采集和成像速度，同时保证了纳米级分辨率。

更新日期：2023-11-08
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产品分类

详细介绍

HEM6000是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜。

采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术，实现了超快的数据采集和成像速度，同时保证了纳米级分辨率。

高速扫描电子显微镜面向应用场景的自动化操作流程设计，使得大面积的高分辨率图像采集工作更高效、更智能。成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上。

图像采集速度

10 ns/pixel，2*100 M pixel/s

加速电压

100 V~6 kV(减速模式) ； 6 kV~30 kV(非减速模式)

分辨率

1.3 nm@3 kV，SE ； 2.2 nm@1 kV，SE

视场大小

最大视场1*1 mm²，高分辨微畸变视场32*32 um²

样品台精度

重复定位精度：X ±0.6 um；Y ±0.3 um

高速扫描驱动器

驻点时间10 ns/pixel，

最快采集速度2*100 M pixel/s

电子过滤系统

SE/BSE信号自由切换，

MIX成像信号比例可调

全静电高速偏转系统

可实现高分辨大场模式，

4 nm像素点最大视场达32*32 um²

样品台减速技术

降低入射电子落点电压，

同时提高回收电子的收集效率

浸没式电磁复合物镜

物镜磁场浸没样品

实现了低像差高分辨率

产品优势

高速自动化

全自动上下样流程和采图作业，综合成像速度优于常规场发射扫描电镜的 5 倍

大场低畸变

跟随扫描场动态变化的光轴，实现了更低的场边缘畸变

低压高分辨

样品台减速技术，实现低落点电压，同时保证高分辨率

应用领域

半导体工业

生命科学

材料科学

地质科学

应用案例

芯片（金属层）/ 116x / BSE / 120 ns

芯片（器件层） / 2000x / BSE / 40 ns

芯片（金属层）/ 1200x / BSE / 120 ns

芯片（器件层） / 1200x / BSE / 120 ns

生物切片 / 9500x / BSE / 120 ns

生物切片 / 10000x / BSE / 120 ns

生物切片 / 116x / BSE / 120 ns

指标	HEM6000	常规场发射扫描电镜
像素尺寸(单张)	8192*8192
像素点时间	120 ns（点/行/帧平均数：6/2/1）	800 ns
像素大小	16 nm
拍摄总面积	2 mm²
拍摄总时间	25分32秒	>140分

产品参数

关键参数	分辨率		1.3nm @ 3 kV，SE；1.9nm @ 3 kV，BSE；
			2.2 nm @ 1 kV，SE；3.3 nm @ 1 kV，BSE；
	加速电压		100 V~6 kV(减速模式)
			6 kV~30 kV(非减速模式)
	放大倍率		66~1,000,000x
	电子枪类型		高亮度肖特基场发射电子枪
	物镜类型		浸没式电磁复合物镜
样品装载系统	真空系统		全自动控制，无油真空系统
	样品监控		样品仓监控水平摄像头；换样仓监控垂直摄像头
	样品最大尺寸		直径4英寸
	样品台	类型	电机驱动3轴样品台（*可选配压电驱动样品台）
		行程	X、Y轴：110mm； Z轴：28mm；
		重复定位精度	X轴：±0.6μm； Y轴：±0.3μm；
	换样方式		全自动控制
	换样时间		＜15 min
	换样仓清洗		全自动控制等离子清洗系统
图像采集与处理	驻点时间		10 ns/pixel
	图像采集速度		2*100 M pixel/s
	图像大小		8K*8K
探测器和扩展	标配		镜筒内混合电子探测器
	选配		低角度背散射电子探测器
			镜筒内高角度背散射电子探测器
			压电驱动样品台
			高分辨大场模式
			样品仓等离子清洗系统
			6英寸样品装载系统
			主动减震台
			AI降噪；大图拼接；三维重构
软件	语言		中文
	操作系统		Windows
	导航		光学导航、手势快捷导航
	自动功能		自动样品识别、自动选区拍摄、自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散

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